相关文章

洁净厂房规范推荐的换气次数

洁净厂房规范推荐的换气次数

国际标准ISO14644-4曾对微电子行业洁净度给出推荐的换气次数表下表

微电子行业洁净度换气次数(动态)

洁净度级别

换气次数(次/h)

洁净度级别

换气次数(次/h)

6

70-160

8

10-20

7

30-70

根据该标准对换气次数应用实例的说明,表中的换气次数是动态下的数值。洁净工程

国标《洁净厂房设计规范》给出了下表所列的换气次数

国标推荐的换气次数(静态)

洁净度级别

换气次数(次/h)

洁净度级别

换气次数(次/h)

6

50-60

8-9

10-15

7

15-25

《洁净厂房设计规范》在编制说明中指出:“洁净室送风量计算所用的数据是参照国际标准ISO14644-4而编制,其中,换气次数系统根据我国实际情况确定的”说明所指空气洁净度级别系指静态,所以国标的换气次数是静态的,特别指出“如果设计时业主提出了要按动态进行验收时,则另行处理”但是始终未明确指明ISO标准是动态标准。